広範囲の光学系コンポーネント用AR（反射防止）コーティング

DUV（深紫外）用AR（反射防止）コーティング

課題:

DUV（深紫外）レーザーのビームパスのウィンドウ、レンズ、プリズム、およびその他光学系コンポーネントには効率的で耐久性の高いコーティング層が必要とされます。当社の製造には対象面の研磨、クリーニング、並びに取り扱いと梱包のための適切な工程が含まれます。

ソリューション:

• 反射防止コーティングの施されるコンポーネントは 266 nm、248 nm、193 nmの波長で量産対応しています。
• 広帯域AR（反射防止）コーティングおよび入射角が最大75°のコーティングが生産されます。
• 248 nm または 193 nm コーティングの反射率は 0.2% (i = 0°)です。
• 248 nm でのレーザー破壊閾値は 2.5 J/cm² (1対1、25 ns パルス長)超です。

JENODUR 201 および JENODUR 203 コーティングは標準製品として提供しております。