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様々な波長に向けた可変ビームエキスパンダー

無限調節が可能なビームエキスパンダーはレーザー加工に必要とされる高レベルの精度を実現します。

ビームエキスパンダー製品グループ

ビームエキスパンダーはレーザービームの径を大小させることが出来るため、光学系の様々な要素をお互いに校正することが出来ます。レーザー出力時点でのレーザービーム径は対物レンズ入力に時点で必要とされる径に適合させることが出来ます。ビームエキスパンダーは主にレーザー加工に使用されます。あらゆるビームエキスパンダーは広範囲のビーム誘導システムにおいて、Jenoptik 製Fθ対物レンズに統合することが出来ます。

1x-4x および 2x-10x ビームエキスパンダーは 355, 532 および 1030 ~ 1080 ナノメートルのレーザー波長にてご用意しています。.ズーム範囲の伸長により、最大10倍のビーム拡大が達成できます。すべてのバージョンは最小から最大のビーム拡大率で無限調節可能です。エキスパンションとビーム開きは別々に調節します。そのため、ビームエキスパンダーで光学系全体の焦点補正が出来ます。

ビームエキスパンダーは極めて堅牢な設計であり、コンパクトなハウジングを備えています。設定の変更時にもレンズ要素を回転することはありません。そのため、際立って高いビームの安定性が得られます。ビームエキスパンダーは回折限界に到達しています:レーザービームの径は光の回析によってのみ制限されます。ズーム及びフォーカスのゲージはビームエキスパンダーに刻印されているため、手動での調節も素早く簡単に行うことが出来ます。

精度と耐久性をさらに高めるため、ビームエキスパンダーはさらに発展しています

BEX 1x-4x ステッドファストの特徴はその新しい機構設計にあります:可動光学要素が直線的に動きます。そのため、倍率および/またはビーム開きの変更時の機構的な製造上の公差における影響を低減し、ビーム方向における安定性が向上されます。ビームエキスパンダーは1ミリラジアン未満の照射方向における高い安定性を達成することが出来ます。

新しく設計されたビームエキスパンダーはまた、設定のロックにも使用できます。ロックすることで、システムの振動または加速による影響を最低限に抑えることが出来ます。また、BEX 1x-4x ステッドファストの取り扱いは簡単かつ安全なので、設定時間を最低限に抑えることが出来ます。

ビームエキスパンダーの特長

  • 高精度:ビームエキスパンダーはレーザー加工に必要とされるレベルの精度を実現するように最適化されています。
  • 堅牢かつコンパクト:設定の変更時にもレンズ要素を回転することはありません
  • 最適化済み:ビームの安定性が改善されました
  • 柔軟性:拡大率とビーム開きは別々に調節可能です
  • 無限調節が可能:1倍から10倍の拡大率
  • 手動での素早い調節:刻印入りのズームおよびフォーカスゲージ

ビームエキスパンダーのアプリケーション

  • マイクロエレクトロニクス:例: ガラスのマイクロ構造化など
  • セミコンダクター業界:例: マイクロマシーニングなど
  • 自動車業界構成部品の切断や構造など
  • 医薬:例: 治療用途におけるガーゼの除去など

Product Overview Beam Expander

Beam Expander (BEX)
Wavelength
[nm]
Order NumberData Sheet (DB)STEP (STP)Zemax-Blackbox (ZIP)
017052*-
BEX 1x-4x 2)1030...1080 017052-012-26DB 1x-4xSTP 1x-4x _1x
STP 1x-4x _4x
ZIP *-012-26

515...540 017052-202-26ZIP *-202-26

355 017052-402-26
ZIP *-402-26
BEX 1x-4x steadfast 3)1030...1080 582823DB 1x-4x
steadfast
STP 1x-4x st _1x
STP 1x-4x st _4x
ZIP 582823

515...540 593355ZIP 593355

355593354
ZIP 593354
BEX 2x-10x1030...1080 017052-001-26DB 2x-10xSTP 2x-10x _2x
STP 2x-10x _10x
ZIP *-001-26

515...540017052-201-26ZIP *-201-26

355017052-401-26

ZIP *-401-26
BEX 1x-8x 4) - New1030...1080606997DB 1x-8xSTPZIP

355586117
STPZIP

2) Registered Design in EU, 000952049
3) Pending Design in DE, 40 2016 001 282.4 | Patent pending DE 10 2015 009 124.7 and PCT/EP2016/064345
4) Registered Design in DE, 40 2016 001 282.4 | Registered in CN, EU, HK, IN
Pending in JP, KR, TW | Grant Patent DE, 10 2015 009 124 | Patent pending WO-Appl.

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