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広範囲の光学系コンポーネント用AR(反射防止)コーティング

JenoptikのARコーティングは極めて効果的で、反射損失を最低限に抑えるため、最適な反射防止機能を提供します。

AR(反射防止)コーティング Jenodur309

ウィンドウ、レンズ、プリズムなどの光学系コンポーネントには信頼性の高いAR(反射防止)コーティングが必要です。光の反射を防止することで透過率を高めます。つまり、高精度の結果が得られることになります。.Jenoptikの反射防止コーティングはDUV(深紫外)からIR(赤外)に至る広範囲の波長域の光学系コンポーネントに適しています。お客様の要件に的確に応じるよう、コーティング設計をカスタマイズいたします。必要に応じて、納品時にクリーニングと取り扱いに関する推奨も行っております。

多帯域反射防止コーティング、広帯域狭帯域コーティング単層ARからお選びいただけます。当社の専門家にお問い合わせください。ご要望に応じてカスタマイズAR(反射防止)コーティングを製造いたします。

特長

  • 強力:高度に効率的な反射防止
  • 優れた耐久性:特定のARは極めて安定しており(DLCなど)、厳しい環境的要素に耐えることが出来ます。
  • 高い耐久性:DUV(深紫外)用ARは所定の動作条件においては極めて長い 寿命 を提供します
  • 高汎用性:ウィンドウ、レンズ、プリズムなどの多種多様な光学的コンポーネントに適しています

アプリケーション分野

  • セミコンダクター業界:DUV(深紫外)用AR(反射防止)コーティング

ソリューション導入実績の一例:DUV(深紫外)用AR(反射防止)コーティング

Jenodur201 でのAR-DUVコーティング例

DUV(深紫外)用AR(反射防止)コーティング

課題:

DUV(深紫外)レーザーのビームパスのウィンドウ、レンズ、プリズム、およびその他光学系コンポーネントには効率的で耐久性の高いコーティング層が必要とされます。当社の製造には対象面の研磨、クリーニング、並びに取り扱いと梱包のための適切な工程が含まれます。

ソリューション:

  • 反射防止コーティングの施されるコンポーネントは 266 nm、248 nm、193 nmの波長で量産対応しています。
  • 広帯域AR(反射防止)コーティングおよび入射角が最大75°のコーティングが生産されます。
  • 248 nm または 193 nm コーティングの反射率は 0.2% (i = 0°)です。
  • 248 nm でのレーザー破壊閾値は 2.5 J/cm² (1対1、25 ns パルス長)超です。

JENODUR 201 および JENODUR 203 コーティングは標準製品として提供しております。

製品の推奨

コンポーネント

何かご不明な点などございましたら当社の専門家が喜んでご相談を承っております。

Optics & Optical Systems

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