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セミココンダクター業界:での検査手順向け、カスタマイズされたUV対物レンズ

Jenoptik のUV対物レンズは最も厳密な要件を満たし、セミココンダクター業界の光学プロセス制御システムで決定的な要素と考えられています。

カスタムレンズ
Jenoptik は特別注文のUV対物レンズおよびコンポーネント、並びに品質保証用の個別な光学モジュールも提供しております。カスタムレンズはセミコンダクター業界のプロセス制御システムに採用された実績を持ち、同分野における決定的要因とみなされています。

生産およびシステムの超精密な検査において、最高の画質を保証します。例えば、ユーザーにウェーハー検査の高スループット化を提供します。UV対物レンズと光学系モジュールはレーザー光源の最先端技術の開発に使用することが出来ます。DUV(深紫外)波長の全域を網羅しますが、193 nm および 266 nm に多くの経験があります。DUV(深紫外)波長での偏光および波面エラーの制御は技術的に実現可能となります。

Jenoptik は全プロセスチェーンを提供します。 — UV対物レンズの立案からライン生産まで対応致します。当社はお客様の特殊な要件に応じた検査用対物レンズを開発しており、フィージビリティスタディも実施しています。また、お客様の要件に的確に満たせるよう、お客様と共にサービス内容を定義しています。生産においては、当社専門家が超精密検査手法を駆使して目標仕様にシステムを適合させます。その後UV対物レンズは、保管、輸送、設置に関する環境的安定性を保証するために、熱応力および力学的応力とテストされます。お客様に試作でご満足いただけた後は、ライン生産でのUV対物レンズの生産も承っております。


特長

  • カスタム設計:お客様の要件に最適化されたUV対物レンズ
  • バリデーション:設置位置内、および環境的・アプリケーション条件下
  • 最高画質:波面誤差 <0.035 λ、最大 1:1000 のDUV 波長および偏光消失比 (PER)
  • 性能の決定的要因:光学系プロセス制御システムにおける実績
  • 経験:25 余年にわたるセミコンダクター産業におけるパートナーとしての長年の経験
  • 長い寿命:低汚染取り付け技術およびコーティング技術

アプリケーション分野

  • セミコンダクター業界:ウェハーおよびマスク検査


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