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高効率で様々な用途に使用できる精密屈折型光学素子 (ROE)

Jenoptik はお客様の個別の用途に合わせた屈折型光学素子 (ROEs) を製造します。そのため、開発プロセスからお客様と緊密な連携を図ります。

屈折型オプティクス (ROE)
Jenoptik はマイクロレンズアレイホモジナイザーなどの様々な用途に使用できる高精度の屈折型光学素子 (ROE) を製造・開発しています。弊社はお客様固有の要件に合わせて製品をご用意します。短い生産期間と密接な協力関係を生かして、初期の開発段階からお客様の成功をお手伝いします。

弊社の高度なマイクロオプティクスでは、光損失を最小限に抑えながら、多数の機能を実現できます。

その一部を以下にご紹介します:
  • 情報通信技術用のファイバーおよび導波路結合
  • 特定領域における光の均一化
  • 既存のビームプロファイルをお客様固有の強度プロファイルに変換するレーザービームの整形
屈折型光学素子の製造には、石英とプラスチックに加えて、Si、CaF2、Al2O3、ZnSe および ZnS などの材料を使用します。そのおかげで DUV から IR の幅広い波長範囲に対応し、同じくらい幅広い用途にソリューションを提供することができるのです。


メリット

  • 顧客別対応: お客様固有の要件に合わせたマイクロオプティクス
  • 多機能性: 光の均一化、整形、分岐および偏光
  • 強力: 弊社の製品は DUV から IR までの広いスペクトル範囲に対応
  • 柔軟性: 様々な材料で作られた屈折型光学素子
  • 成功: 個別の設計からシステム統合までを専門家がプロの知識でサポート

応用分野

  • 半導体製造: リソグラフィーおよび検査システム用のマイクロオプティクス
  • レーザー加工: 太陽光電池や金属など、レーザー加工を行う製造施設の屈折光学素子
  • 照明およびエネルギー: 最新照明用途向けのマイクロオプティクス
  • 医療: 目や皮膚のレーザー治療
  • ディスプレイおよびプロジェクター: 光ビーム経路およびマイクロプロジェクター
  • 天文学: 波面試験台および均質照明システム
  • 赤外線用途:LIDAR
  • 情報通信技術:  ファイバーおよび導波路結合

製品プレビュー

マイクロレンズアレイ

マイクロレンズアレイ: 光ビーム経路の均一化と正確なビーム誘導

フィルファクター改善用マイクロレンズアレイ

マイクロレンズアレイは、狭い空間内で高精度のアライメントが求められる用途に主に使用されます。

Jenoptik はグレースケール技術を使用したマイクロレンズアレイを設計・製造しています。これにより、リフロー技術などの他の技術を用いた場合に比べてより均一でフィルファクターの改善を実現できます。単一レンズの開口部は長方形、正方形、六角形、円形または楕円形をご用意しています。また、レンズプロファイルも非常に柔軟な対応が可能です。レンズ間隔をさらに広げたカスタム設定も可能です。

球面、非球面、不等角レンズおよびレンズセグメントについて、理想的な位置に対して誤差 0.25マイクロメートル未満の精度を保証いたします。MLA は前後 1 ミクロン以内のアライメントが可能なため、1 枚になった両面マイクロレンズアレイが実現しました。より狭い空間での機能性が向上します。

屈折型ホモジナイザー

屈折型ホモジナイザー: 均一な出力のレーザービームを整形

反射ホモジナイザーが均一な出力のレーザービームの整形を制御

多くのレーザー用途では、特定の領域で均一な強度を持ち、正確に制御された光分布が必要とされます。これは回折・屈折ホモジナイザーを使用すれば実現できます。

Jenoptik は一様でない入射ビームを混合し、組み合わせてよく制御された一様な強度に変えるマイクロレンズアレイを使用して屈折型ホモジナイザーを作り上げています。弊社の屈折型ホモジナイザーはシングルモード、マルチモード、単色、ブロードバンドの入力に対応します。そのため、ほぼすべてのビームを正確で均一に整形できます。

屈折型ホモジナイザーは常に制御されたビームが必要なレーザー用途に最適です。そのため、皮膚治療、レーザー加工、レーザーを使用する外科手術に最適です。屈折光学素子は、通信、業務用画像加工などの分野で、追跡システムだけでなくマーキングや印刷などにも使用されます。

光学素子は 3 ~ 5% の均一性円形、正方形など様々な形状の強度分布を生成できます。回折ディフューザーと比較した場合の屈折型ホモジナイザーの最大のメリットは、非常に低い0次光で、より幅広い波長で使用できることです。そのために、これらを組み合わせて DUV から LWIR の全範囲に対応する様々な ROE を作り出すことが可能です。

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