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UFO Probe® カード - PIC ウエハー試験用の新テストカード
フォトニック集積回路(PIC)は、未来のチップです。インテグレートされたフォトニクスは、電気の代わりに光を使用して、データと信号の処理を行います。
世界をスピードアップ

UFO Probe® Technology keeps you one step ahead
Jenoptik と共に一歩先へ

All benefits of the Probe Card Technology on one view
進歩
PIC エコシステムは、高スループット連続生産向けの効率的な検査方法によって拡張できます。また、複数のチップの並列検査通過により検査時間を短縮できます。
革新性
標準の検査装置で使用できる大量生産向けの唯一の商用検査ソリューション。
品質
スクラップは生産の初期段階で特定され、歩留まりの改善につながります。すべての PIC の全検査は、ウェハー上で実施されます。
プラグ&プレイ
標準的な IC テスターと自動テスターで作動するように設計されています。低い出費と試運転費用。
効率的
故障部品が早期に発見されることで、歩留まりの向上と生産フローの最適化が可能です。
柔軟性
光学式 I/O チャンネルのピッチと数は、お客様に合わせて設定できます。
光学データ通信の可能に

現在および将来のプローブカードの用途
既存の検査インフラに簡単に組み込めます。

内蔵プローブカードの詳細図
UFO Probe® カードで IC と PIC の並行検査が可能です
- Monolithic optical module
- Alignment-insensitive optical coupling for vertically emitting PICs
- Simultaneous optical and electrical scanning
- Optical concept compensates prober alignment tolerances
- Use of proven needle technology (partnership with test card manufacturers)
- Standard interface to wafer prober can be implemented
UFO Probe® オプトエレクトロニクスカードの技術的詳細
仕様 | 現世代 | 未来の世代 |
検査されるコンポーネント | 電子およびフォトニック集積回路(EPIC)、データ伝送および電気通信用の光トランシーバー | トランシーバー、フォトダイオード、 |
電気ニードル技術 | カンチレバー | カンチレバー、垂直 / アドバンスト |
光学カップリング原理 DUT | 垂直カップリング | 垂直カップリング |
光入力 / 出力の数(OI/OO) | 16 まで | <200 |
ピッチ OI/OO | 250 µm | 柔軟性 |
OI/OO配列のレイアウト設定 | 入力/出力の同一方向の線形配置 | 独自のニーズに合わせて構成可能 |
カップリングブラケット | 0° および 11.6° | 0° - 20° |
対応波長 | 1,310 nm および 1,550 nm | VIS~NIR(U バンド) |
挿入損失の測定 | 再現性: ~ 0.3~0.5 dB | 再現性の目標値: 0.1 dB |
RF 測定 | 最大 100 Hz | GHz |
インターフェース: | 欧州カードフォーマット | 欧州カードフォーマット、 |
製品情報詳細

Awarded! Thuringia Innovation Award 2022 for UFO Probe® card
Jenoptik was awarded the Thuringia Innovation Award 2022 in the "Industry & Materials" category on November 30, 2022 in Weimar, Thuringia for its novel opto-electronic probe card for testing PIC wafers. Not quite 100 applications were received by STIFT Thüringen this year. Jenoptik convinced the expert jury with its well-thought-out approach to solving the increasing demand for photonic technologies in the electronics and semiconductor industry.