Home Products and Solutions Optical Test and Measurement Solutions 超高速オプトエレクトロニクスプローブカード

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UFO Probe® カード - PIC ウエハー試験用の新テストカード

フォトニック集積回路（PIC）は、未来のチップです。インテグレートされたフォトニクスは、電気の代わりに光を使用して、データと信号の処理を行います。

UFO Probe® カードはPIC の光学および電子機能を同時に検査するためのツールです。Jenoptik のプローブカードは、フォトニック集積回路の光学スキャンのコンセプトに基づいており、ウエハーサンプラーのアライメント許容差の影響を受けにくいです。したがって、オプトエレクトロニクス試験カードは、市販のウェハサンプラーと共に使用することができ、フォトニック集積回路を試験する際に、それに対応した高い処理量を確保します。

世界をスピードアップ

フォトニック集積回路（PIC）のおかげで、光学製品は高速データ通信の鍵となりつつあります。PIC ウエハレベル検査用 UFO Probe® カードは、現在と未来をつなぐ新たな基準を打ち立てています。
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UFO Probe® Technology keeps you one step ahead

Testing of optical and electrical functionalities is a crucial factor in wafer production. In high-volume production, it is important to keep both test and setup times low in order to remain economical. This is where UFO Probe® technology offers the right solution, as it enables electrical and optical components of each chip to be tested simultaneously, thus saving time. It is based on a concept for optical scanning of photonic integrated circuits that is insensitive to wafer probers alignment tolerances. Jenoptik probe cards can therefore be used with commercially available wafer probers and ensure a correspondingly high throughput.

Jenoptik と共に一歩先へ

IC とPICを、たった１枚のUFO Probe® カードに収め、電子機能と光学機能の同時検査が初めて可能になっています。特筆すべきは、両方が既存のテストインフラでも機能することです。さらにJenoptikの UFO Probe ® カードは、各チップを個別にセットアップする必要がなくなったため、 時間を大幅に節約できます。
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All benefits of the Probe Card Technology on one view

進歩

PIC エコシステムは、高スループット連続生産向けの効率的な検査方法によって拡張できます。また、複数のチップの並列検査通過により検査時間を短縮できます。

革新性

標準の検査装置で使用できる大量生産向けの唯一の商用検査ソリューション。

品質

スクラップは生産の初期段階で特定され、歩留まりの改善につながります。すべての PIC の全検査は、ウェハー上で実施されます。

プラグ＆プレイ

標準的な IC テスターと自動テスターで作動するように設計されています。低い出費と試運転費用。

効率的

故障部品が早期に発見されることで、歩留まりの向上と生産フローの最適化が可能です。

柔軟性

光学式 I/O チャンネルのピッチと数は、お客様に合わせて設定できます。

光学データ通信の可能に

Video

現在および将来のプローブカードの用途

現在の UFO Probe® 技術は、フォトニック集積回路（PIC）のウエハー検査専用、特に光トランシーバー用に設計されています。その他の用途： LED/micro-LED、VCSEL、フォトダイオード、MEMSミラーおよび PCM 構造。
Fingerprint Sensor with a thumb

Bio Sensors
Modern technology and computing concept on virtual screen.

Optical quantum chips
3d rendering robotic arms with silicon wafers for semiconductor manufacturing

Process monitoring structures
LiDAR Drohne

Solid State LIDARs
transceiver

Transceiver
fotodiode ufo probe card

Photo Diodes
produktion optoelektronik

Production optoelectronics
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既存の検査インフラに簡単に組み込めます。

内蔵プローブカードの詳細図

Jenoptik UFO Probe® カードは、標準的な IC プローバーおよび／または自動検査装置での使用を想定し、 PICの ウエハーレベル検査のプラグアンドプレイソリューションを提供します。要件に応じて、ウエハーサンプラーへの標準インターフェースを、プローブカードのレイアウト／ デザイン、例えば欧州カードフォーマットに、簡単に実装することができます。UFO Probe® カードの取り扱いは、電気検査カードの取り扱いと同様で、広範囲の特別なトレーニングを行う必要はありません。

UFO Probe® カードで IC と PIC の並行検査が可能です
  • Monolithic optical module
  • Alignment-insensitive optical coupling for vertically emitting PICs
  • Simultaneous optical and electrical scanning
  • Optical concept compensates prober alignment tolerances
  • Use of proven needle technology (partnership with test card manufacturers)
  • Standard interface to wafer prober can be implemented

UFO Probe® オプトエレクトロニクスカードの技術的詳細

仕様

現世代

未来の世代

検査されるコンポーネント
（検査されるデバイス/DUT）

電子およびフォトニック集積回路（EPIC）、データ伝送および電気通信用の光トランシーバー

トランシーバー、フォトダイオード、
バイオセンサーおよびソリッドステートLIDAR 用EPIC。

電気ニードル技術

カンチレバー

カンチレバー、垂直 / アドバンスト

光学カップリング原理 DUT

垂直カップリング

垂直カップリング

光入力 / 出力の数（OI/OO）

16 まで

<200

ピッチ OI/OO

250 µm

柔軟性

OI/OO配列のレイアウト設定

入力／出力の同一方向の線形配置

独自のニーズに合わせて構成可能

カップリングブラケット

0° および 11.6°

0° - 20°

対応波長

1,310 nm および 1,550 nm

VIS～NIR（U バンド）

挿入損失の測定

再現性： ~ 0.3～0.5 dB

再現性の目標値： 0.1 dB

RF 測定

最大 100 Hz

GHz

インターフェース:

欧州カードフォーマット

欧州カードフォーマット、
ATE インターフェイス


製品情報詳細

詳細情報についてはこちらをクリック。

ハイブリッド技術プラットフォーム －

UFO Probe® Card により、 IC と PIC を同時に試験することができ、歩留まりの向上と試験時間の短縮が可能です。
  • 光学および電気プロービングの組み合わせ
  • 複数の光学 I/O および直接検出用アクティブコンポーネント用の受動光学回路を持つ光学モジュール
  • 垂直発光 PIC 用アラインメント不感型光学カップリング
  • DUT への電気的インターフェースとしてのカンチレバーニードルセットアップ／実績のあるニードル技術を活用
詳細情報についてはこちらをクリック。

正確なタッチダウンで貴重な時間を節約 -

UFO Probe® カードの光学コンセプトは、プローバーのアライメント許容差を補正し、貴重な時間を節約します。
  • RX，TX，アライメントチャンネルと包括的な電気テストを一回のタッチダウンで
  • バッチごとに １回のアライメント、チップごとに追加のアライメントは不要
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既存のインフラに依存 －

以下の試験ソリューションにより、フォトニクス集積回路（PIC）として新しい技術を統合する次のステップに進むことができます。
  • 既存のウエハープローバーと試験装置に対応
  • 従来の電子試験と同じ作業員による操作が可能。
  • 追加の努力（トレーニング、システム調整）は不要
  • プローブヘッドプレートへの標準プローバーインタフェイス（ユーロカードフォーマット）としての金属フレーム
  • 他のインターフェイス対応のための設計変更が可能
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Awarded! Thuringia Innovation Award 2022 for UFO Probe® card

Jenoptik was awarded the Thuringia Innovation Award 2022 in the "Industry & Materials" category on November 30, 2022 in Weimar, Thuringia for its novel opto-electronic probe card for testing PIC wafers. Not quite 100 applications were received by STIFT Thüringen this year. Jenoptik convinced the expert jury with its well-thought-out approach to solving the increasing demand for photonic technologies in the electronics and semiconductor industry.

ご質問はございませんか？ 専門家が喜んでご回答いたします。

Enrico Piechotka

Global Product Group Manager

+49 3641 65-2441

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