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特許取得済みのマウント技術による DUV 光学機器の高精度調整

Jenoptik は Thüringer Aufbaubank (TAB) が後援するプロジェクトの一環として DUV 光学機器の応力フリーマウント技術を開発しました。この技術では接着剤を使用せずに光学素子を固定できます。

DUV 精密光学機器
光学機器用の特許取得済みのマウント技術は光学システムの熱応力を補います。Jenoptik は特に高開口数の DUV 光学機器用としてこの技術を開発しました。新たなコンセプトにより、光学素子をすばやく、しっかり、誤差 10 ナノメートル未満で正確に取り付けられるようになりました。

一切の接着剤を使わない積み重ね可能な技術 (スタックマウンティング) です。これにより、応力によって生じる複屈折が軽減され光学部品の安定性が向上します。最も厳しい条件下でも対物レンズが機能します。

新たなコンセプトは、お客様が光学素子を正確に取り付けられることを意味します:300ミクロン前後の範囲でも誤差 10 ナノメートル未満 で光学軸に対して垂直に配置できます。つまり、DUV 光学システムの光学素子を非常に正確に調整しながら、しっかり固定された状態にできるのです。

プロジェクトの一環として Thüringer Aufbaubank から資金提供を受けている Jenoptik のこの技術は、フッ化カルシウム、石英ガラスなどの光学材料と、ステンレススチール、アルミニウム、青銅などの取り付け用材料を使用しています。

汎用波面測定システムが品質を保証


波面測定システムを使用すると、システム全体のスピーディかつ正確な調整と評価が可能になり、時間の節約とコスト削減になります。Jenoptik は様々な測定原理を 1 つの汎用測定システムにまとめました — 開発時間とコストの削減になります。

メリット

  • 特許取得済み:特に高開口数の DUV 光学機器用としてこの技術を開発
  • 接着剤不使用:スタックベースの技術を使用 (スタックマウンティング)
  • 強力:光学システムの熱応力を相殺
  • 極めて高精度:誤差 10 ナノメートル未満の精度で光学素子を配置
  • 再現性:様々な光学材料のための技術を採用
  • コスト削減:波面測定システムでシステム全体をすばやく設定


応用分野

  • 半導体機器:ビーム制御および照明システム
  • フラットパネルディスプレイ業界:マイクロ材料加工


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